The invention relates to a device (1) for processing system components and / or packaging means in a system for filling filled products. The apparatus (1) comprises a vaporizer (2) for providing a treatment gas stream comprising vaporized hydrogen peroxide, the treatment gas stream being further treated by the system component and / or the treatment to be treated. It comprises a processing nozzle (42) for applying to said packaging means to be formed. A sensor (5) is provided to measure the hydrogen peroxide concentration in the process gas stream exiting the process nozzle (42).本発明は、充填製品を充填するシステムにおいてシステム部品及び／又はパッケージング手段を処理するための装置（１）に関する。この装置（１）は、気化された過酸化水素を含む処理ガス流を提供するための気化装置（２）を備え、さらに、前記処理ガス流を、処理されるべき前記システム部品及び／又は処理されるべき前記パッケージング手段に付与するための処理ノズル（４２）を備えている。当該処理ノズル（４２）から出る前記処理ガス流中の過酸化水素濃度を測定するために、センサ（５）が設けられている。
