Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Behandeln von Anlagenkomponenten und/oder von Packmitteln in einer Füllproduktabfüllanlage, umfassend eine Verdampfungsvorrichtung (2) zum Bereitstellen eines verdampftes Wasserstoffperoxid umfassenden Behandlungsgasstroms, weiterhin umfassend eine Behandlungsdüse (42) zum Aufbringen des Behandlungsgasstromes auf die zu behandelnde Anlagenkomponente und/oder das zu behandelnde Packmittel, wobei ein Sensor (5) zur Messung der Wasserstoffperoxidkonzentration in dem aus der Behandlungsdüse (42) austretenden Behandlungsgasstrom vorgesehen ist.The present invention relates to a device (1) for treating plant components and / or packaging materials in a Füllproduktabfüllanlage comprising an evaporation device (2) for providing a vaporized hydrogen peroxide treatment gas stream, further comprising a treatment nozzle (42) for applying the treatment gas stream to the treating plant component and / or the packaging to be treated, wherein a sensor (5) for measuring the hydrogen peroxide concentration in the treatment from the nozzle (42) exiting treatment gas stream is provided.