PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress reduction of measurement accuracy relating to physical properties of an object to be measured even in the case where reflection pulse signals reflected from a plurality of interfaces are superimposed, in the object to be measured that has the plurality of interfaces.SOLUTION: A measurement apparatus which measures physical properties of an object to be measured comprises a waveform acquisition section and a waveform shaping section. The waveform acquisition section acquires a temporal waveform from a signal relating to an electromagnetic wave pulse which is detected in a detection section by changing an optical path length of a delay optical section and acquires a first acquisition waveform at a first convergent position where parallel regions of the electromagnetic pulse are positioned only in one of first and second reflection sections through a position adjustment section and acquires a second acquisition waveform at a second convergent position different from the first convergent position. The waveform shaping section shapes a measurement waveform based on the first acquisition waveform and the second acquisition waveform.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】 複数の界面を備える測定物において、複数の界面から反射された反射パルス信号が畳重している場合においても、測定物の物性に関する測定精度の低下を抑制することを目的とする。【解決手段】 測定物の物性を測定する測定装置は、遅延光学部の光路長を変化させて検出部で検出した電磁波パルスに関する信号から時間波形を取得する波形取得部であって、位置調整部により第1の反射部または第2の反射部の一方のみに電磁波パルスの平行領域が位置する第1の集光位置にて第1の取得波形を、前記第1の集光位置とは異なる第2の集光位置にて第2の取得波形を取得する波形取得部と、第1の取得波形と第2の取得波形とに基づき測定波形を形成する波形形成部と、を有する。【選択図】 図1
