一种电子束装置、吸气器片和制造装配有所述吸气器片的电子束装置的方法
- 专利权人:
- 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
- 发明人:
- 沃纳·哈格,多米尼克·克罗埃塔,乌尔斯·霍斯泰特勒,本诺·齐格利戈,托妮·瓦贝尔
- 申请号：
- CN201611043600.1
- 公开号：
- CN107068513B
- 申请日:
- 2012.27.06
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及具有设置有出射窗的主体的电子束装置,所述主体形成或至少部分地形成真空室,所述真空室包括在其中的阴极外壳(112)和至少一个电子产生丝状体(120)。至少一种吸气器片(124)布置在阴极外壳(112)和所述丝状体(120)之间。本发明还包括用于在电子束装置中的吸气器片(124),以及制造包括该至少一个吸气器片的电子束装置的方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
