混成式三维神经元探针阵列
- 专利权人:
- 中国科学院上海技术物理研究所
- 发明人:
- 程正喜,庄佚溦,张学敏,翟厚明,施永明,马斌
- 申请号：
- CN201210142795.0
- 公开号：
- CN102670193A
- 申请日:
- 2012.05.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种混成式三维神经元探针阵列，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针底座之间的间距范围为25至75微米，针尖由两个相邻交接的斜面和两个相互垂直交接的垂直面围成，两个所述垂直面垂直于所述硅衬底，所述斜面与所述垂直面之间的夹角为V形沟槽的两个斜面的夹角的1/2。该混成式三维神经元探针阵列的制备成品率高，并且制备工艺相对简单，适合大规模制备。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
