An apparatus is described for determining surface topography of a three-dimensional structure. The apparatus can include a probe and an illumination unit configured to output a plurality of light beams. In many embodiments, the apparatus includes a light focusing assembly. The light focusing assembly can receive and focus each of a plurality of light beams to a respective external focal point. The light focusing assembly can be configured to overlap the plurality of light beams within a focus changing assembly in order to move the external focal points along a direction of propagation of the light beams. The apparatus can include a detector having an array of sensing elements configured to measure a characteristic of each of a plurality of light beams returning from the illuminated spots and a processor coupled to the detector and configured to generate data representative of topography of the structure based on the measured characteristic.L'invention concerne un appareil permettant de déterminer la topographie de surface d'une structure tridimensionnelle. L'appareil peut comprendre une sonde (90) et une unité d'éclairage (28, 32, 34, 38) configurée pour émettre une pluralité de faisceaux lumineux (36). Dans de nombreux modes de réalisation, l'appareil comprend un ensemble de focalisation de lumière (42, 44). L'ensemble de focalisation de lumière peut recevoir et focaliser chacun d'une pluralité de faisceaux lumineux vers un point focal externe respectif. L'ensemble de focalisation de lumière peut être configuré pour superposer la pluralité de faisceaux lumineux au sein d'un ensemble de changement de focalisation (224, 234) afin de déplacer les points focaux externes le long d'une direction de propagation des faisceaux lumineux. L'appareil peut comprendre un détecteur (60) comportant un réseau d'éléments de détection configurés pour mesurer une caractéristique de chacun d'une pluralité de faisceaux lumineux revenant des points éclairés et un processeur (24) couplé a
