Disclosed is an array substrate including a base substrate, a low temperature polysilicon film transistor provided on the base substrate, and a photoelectric converter connected to a first electrode of the film transistor. The first electrode includes a first conductive layer, the photoelectric converter is provided on a side of the first conductive layer away from the base substrate, and the first conductive layer is etched in a step of forming the photoelectric converter. The first electrode is a source or a drain of the film transistor and includes a resistant material. Further disclosed are a method of making the array substrate, a tablet detector including such an array substrate, and an imaging device including such a tablet detector.下地基板と、下地基板上に設けられた低温ポリシリコンフィルムトランジスタと、フィルムトランジスタの第１電極に接続された光電変換器とを含むアレイ基板が開示される。前記第１電極は第１導電層を含み、前記光電変換器が前記第１導電層の前記下地基板から離れる側に設けられ、前記第１導電層は、前記光電変換器を形成する工程においてエッチング耐性を有する材料を含み、前記第１電極は、前記フィルムトランジスタのソースまたはドレインである。また、前記アレイ基板を作製する方法と、そのようなアレイ基板を含むタブレットディテクタと、そのようなタブレットディテクタを含む映像装置がさらに開示される。
