一种用于产生快速扫描光学相位延迟线的方法及装置
- 专利权人:
- 上海美沃精密仪器股份有限公司
- 发明人:
- 尉佩,陈文光,郭丁华
- 申请号：
- CN202010019291.4
- 公开号：
- CN111184502A
- 申请日:
- 2020.08.01
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种产生快速扫描光学相位延迟线的方法和装置,装置包括圆盘、至少一个平行反射镜组、圆盘驱动装置、发射光源、外部反射镜,至少一个平行反射镜组均匀固定分布在圆盘的同一圆环上,每个平行反射镜组中的第二反射镜与其圆周处的切线间的夹角小于90度;圆盘驱动装置用于以一定角速度驱动圆盘旋转;发射光源位于圆盘外部,发射光源距离圆盘圆心的水平距离小于第二反射镜的端点到圆心的距离;外部反射镜位于以圆盘直径为轴线的与发射光源相对一侧。本申请中光信号在空气中进行反射,避免了折射引起的光色散,提高了系统的信噪比和测量精度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
