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PREPARATION AND APPLICATION OF A PIEZOELECTRIC FILM FOR AN ULTRASOUND TRANSDUCER
专利权人:
发明人:
申请号:
EP13866002.2
公开号:
EP2934327A1
申请日:
2013.12.12
申请国别(地区):
EP
年份:
2015
代理人:
摘要:
The present disclosure involves a method of fabricating an ultrasound transducer. A piezoelectric polymer is mixed into a solution containing a first chemical and a second chemical to form a viscous film. In some embodiments, the first chemical includes methyl ethyl ketone (MEK), and the second chemical includes dimethylacetamide (DMA). In other embodiments, the first chemical includes cyclohexanone, and the second chemical includes dimethyl sulfoxide (DMSO). The film is coated onto a wafer and then flashed off during the coating. Thereafter, the film is baked. The second chemical is removed during the baking. Thereafter, the film is annealed. In some embodiments, the annealing is performed using an annealing temperature in a range from about 135 degrees Celsius to about 145 degrees Celsius and an annealing duration in a range from about 17 hours to about 19 hours. The film has a β phase crystallinity greater than 50 % after the annealing.La présente invention concerne un procédé de fabrication dun transducteur à ultrasons. Un polymère piézoélectrique est mélangé dans une solution contenant un premier produit chimique et un deuxième produit chimique en vue de former un film visqueux. Dans certains modes de réalisation, le premier produit chimique comprend de la méthyléthylcétone (MEC) et le deuxième produit chimique comprend du diméthylacétamide (DMA). Dans dautres modes de réalisation, le premier produit chimique comprend de la cyclohexanone et le deuxième produit chimique comprend du diméthylsulfoxyde (DMSO). Le film est revêtu sur une plaquette puis évaporé instantanément pendant le revêtement. Ensuite, le film est cuit. Le deuxième produit chimique est éliminé pendant la cuisson. Ensuite le film est recuit. Dans certains modes de réalisation, le recuit est réalisé à laide dune température de recuit dans une plage denviron 135 °C à environ 145 °C et dune durée de recuit dans une plage denviron 17 heures à environ 19 heures. Le film présente une cristallinité en p
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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