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正面開口式リングポッド
- 专利权人:
- ラム リサーチ コーポレーションＬＡＭ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ
- 发明人:
- スコット・ウォン,デーモン・ティロン・ジェネッティ,デレク・ジョン・ウィトコウィッキ,アレックス・パターソン,リチャード・エイチ．・グールド,オースティン・ンゴ,マーク・エストーケ
- 申请号：
- JP20160206850
- 公开号：
- JP2017098540(A)
- 申请日:
- 2016.10.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】半導体ウエハ製造に使われるプロセスモジュール内の消耗部品を交換するためのポッドを提供する。【解決手段】プロセスモジュール内の消耗部品２０８を交換するためのポッド１０００は、正面側と、背面側と、第１及び第２の側面側とを有するベース板１１３４を含む。第１、第２、第３、第４の支柱１１２９は、縦方向に配されて内側に向けられたフィンガ１１３０を含む。第１の緊急停止柱１１２８が、第３の支柱に平行に配置され、第２の緊急停止柱１１２８が、第４の支柱に平行に配置される。ベース板に接続されたシェル構造が、第１、第２、第３及び第４の支柱、トップ板１１３２、第１及び第２の緊急停止柱を取り囲むように構成され、ベース板の正面側に配置された正面開口を有する。ドアが、正面開口と嵌め合わされ、ポッド
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
