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用于制造保偏光纤的掺硼应力棒及其制造方法
- 专利权人:
- 武汉烽火锐光科技有限公司
- 发明人:
- 莫琦,李诗愈,陈伟,柯一礼,但融,顾学武
- 申请号:
- CN201210063517.6
- 公开号:
- CN102531378B
- 申请日:
- 2012.03.12
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 魏殿绅`庞炳良
- 摘要:
- 本发明公开了一种用于制造保偏光纤的掺硼应力棒及其制造方法,制造方法包括以下步骤:A10、采用PCVD工艺在石英衬管的内壁上沉积硼掺杂区形成沉积预制件,具体方法为:在石英衬管的一端通入混合气体并在石英衬管的另一端通过真空泵排出,所述混合气体的组成和流量为:四氧化硅蒸气700~1900sccm;高纯氧气1600~5000sccm;三氯化硼70~1100sccm;A20、将所述沉积预制件高温熔缩成实心的硼掺杂应力棒。本发明采用BCl3和SiCl4为原料,利用PCVD工艺能够实现高速、高效率硼掺杂区的沉积,提高了原料利用率和掺杂浓度,并且采用梯度掺杂,能够克服硼应力棒加工时容易碎裂、扭曲的问题,提高了掺杂区的几何对称性,降低切割时熊猫眼与包层碎裂的几率,提高光纤熔接效率。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/