PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a deactivation processing method and a processing apparatus of microorganism by electron beam irradiation which are capable of lightening physical damage by an electron beam and performing deactivation processing of microorganism at a mouth part of an object to be processed successfully at a low cost with a simple configuration.SOLUTION: A deactivation method by electron beam irradiation includes the steps of: arranging a hollow-shaped object 107 to be processed having an opening part 107b in a processing chamber 102 which is configured to be irradiated with an electron beam 113 and irradiating a region including the arranged object 107 to be processed with the electron beam 113 and supplying predetermined gas 122 excited by the electron beam 113, with which the region is irradiated, at least to the opening part 107b of the object 107 to be processed by air stream 122 created by an air stream creating section 110a.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】電子線による物理的なダメージを軽減し、低コストで簡便な構成で、被処理物の口部における微生物の不活化処理を良好に行うことができる電子線照射による微生物の不活化処理方法および処理装置。【解決手段】電子線照射による不活化方法であって、電子線113が照射されるように構成された処理室102内に、開口部107bを有する中空形状の被処理物107を配置する工程と、配置された被処理物107を含む領域に対して電子線113を照射し、気流生成部110aにより生成された気流122により、該領域に照射された電子線113によって励起された所定のガス122を、少なくとも被処理物107の開口部107bに対して供給する工程とを有する。【選択図】図5
