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太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置
- 专利权人:
- 兰州大成自动化工程有限公司
- 发明人:
- 范多望,范多进,令晓明,孔令刚
- 申请号:
- CN200910166870.5
- 公开号:
- CN101649447A
- 申请日:
- 2009.08.26
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2010
- 代理人:
- 张 真
- 摘要:
- 本发明涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种太阳能选择性吸收膜的连续卷绕镀膜装置,包括开卷机组(10),其主要特点设置的真空镀膜室包括有A低真空室(20a、20b),离子处理室(30),B低真空室(40),高真空室(50),5个真空镀膜室(60),室与室之间有法兰密封连接,并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2);A低真空室(20a、20b)、离子处理室(30)、B低真空室(40)、高真空室(50)、真空镀膜室(60)与真空机组(90)相连;在真空镀膜室外还设有收卷机组(80),连续镀膜的控制系统(100)。这种装置的优点在于:可在金属薄板带上镀多层膜、反应膜,膜层厚度可独立进行控制,膜层均匀致密,附着力强适合工业化生产。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/