PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately detect an irradiation position of a charged particle beam without intercepting the charged particle beam only for checking.SOLUTION: A charged particle beam irradiation system 1 or 1B comprises: a charged particle generator 2 for generating charged particles an accelerator 3 or 83 for accelerating the charged particles an irradiation checking unit 40, 40A or 40B for irradiating a charged particle beam B having the charged particles accelerated by the accelerator 3 or 83 to a target 45 an infrared camera 55 for detecting infrared rays emitted from a beam spot 46 of the charged particle beam B in the target 45 and a monitor 57a for outputting a distribution image 63 on the basis of the energy amount distribution of the infrared rays detected by the infrared camera 55.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】荷電粒子ビームを確認のためだけに遮ることなく荷電粒子ビームの照射位置を精度よく検出する。【解決手段】荷電粒子を発生させる荷電粒子発生装置2と、前記荷電粒子を加速する加速器3,83と、前記荷電粒子が前記加速器3,83により加速された荷電粒子ビームBをターゲット45に照射する照射確認部40,40A,40Bとを備えた荷電粒子ビーム照射システム1,1Bに、ターゲット45における荷電粒子ビームBのビームスポット46から放出される赤外線を検出する赤外線カエラ55と、赤外線カメラ55により検出した前記赤外線のエネルギー量分布に基づく分布画像63を出力するモニタ57aとを備えた。【選択図】図1
