PROBLEM TO BE SOLVED: To improve spatial resolution in an interferometer for recovering phase information from a periodic pattern.SOLUTION: An image processor for extracting phase information from a two-dimensional periodic pattern image includes acquisition means for acquiring the pattern image, first conversion means for converting the pattern image into a two-dimensional spatial frequency image, extraction means for extracting a peak of a spectrum included in the spatial frequency image and the peripheral area thereof, and second conversion means for acquiring a phase image by performing conversion reverse to the conversion performed by the first conversion means to the extracted area. The extraction means extracts an area including a first spectrum and one or more two-dimensional spectra.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】周期的なパターンから位相情報を回復する干渉計において、空間分解能を向上させる。【解決手段】二次元の周期的なパターン像から位相情報を抽出する画像処理装置であって、前記パターン像を取得する取得手段と、前記パターン像を、二次元の空間周波数像に変換する第一の変換手段と、前記空間周波数像に含まれるスペクトルのピークとその周辺領域を抽出する抽出手段と、前記抽出された領域に対して、前記第一の変換手段が行った変換と逆の変換を行うことで位相像を取得する第二の変換手段と、を有し、前記抽出手段は、一次スペクトルと、一つ以上の二次スペクトルと、を含むように領域を抽出する。【選択図】図1
