PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic irradiation device in which the cMUT capable of obtaining high sound pressure is used as a sound source.SOLUTION: An ultrasonic irradiation device includes the cMUT 110 and drive control means 120. The drive control means 120 allows the cMUT 110 to emit an ultrasonic wave by applying a voltage between the lower electrode 114 and the upper electrode 117 and vibrating a vibration film 119. At that time, the drive control means 120 vibrates the vibration film 119 in a high order mode. At that time, the vibration film 119 is vibrated while keeping a wide area around the center thereof in a flat shape. As a result, directivity of the ultrasonic wave to be generated is enhanced and high sound pressure is obtained.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】高い音圧が得られるcMUTを音源とする超音波照射装置を提供する。【解決手段】超音波照射装置は、cMUT110と駆動制御手段120とを有する。駆動制御手段120は、下部電極114と上部電極117との間に、電圧を印加して、振動膜119を振動させて、cMUT110に超音波を射出させる。このとき、駆動制御手段120は、振動膜119を高次のモードで振動させる。このとき振動膜119は、その中央付近の広い面積を平坦な形状を維持しながら振動する。その結果、発生する超音波の指向性が高まり、高い音圧が得られる。【選択図】図1
