This invention offers the x-ray beam adjustment system which possesses the diffraction optical part of the Kirkpatrick-Baez type which includes two optical elements where the one of them is crystal. The element is arranged with constitution of being adjacent. To make perfect crystal it is possible crystal. One or to make mosaic crystal it is possible the both diffraction element. To make the multiple layer optical part it is possible one element. For example, lattice face to face every other to make the elliptical mirror or the parabolic linear mirror which changes gradually it is possible the multiple layer optical part. The lattice face to face which changes gradually it changes to every other, cross direction gradually, or it changes to depth direction, in each case or it is possible to make the both.本発明は、その1つが結晶である2つの光学要素を含んだKirkpatrick-Baez型の回折光学部品を有したX線ビーム調整システムを提供する。要素は、隣り合わせの構成で配置される。結晶は、完全結晶とすることができる。1つ又は両方の回折要素は、モザイク結晶とすることができる。1つの要素は、マルチレイヤ光学部品とすることができる。たとえば、マルチレイヤ光学部品は、格子面間隔が徐々に変わる楕円形ミラー又は放物線状ミラーとすることができる。徐々に変わる格子面間隔は、横方向に徐々に変わる、又は深さ方向に変わる、いずれか又はその両方とすることができる。
