计算机辅助制造(CAM)

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

50325519

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

黄庆安

完成单位：

东南大学

中文关键词：

模型; 表面微机械加工; 体硅微机械加工; 键合; SU-8光刻;

其他语种关键词：

modeling; surface micromachinin

项目类型：

国家杰出青年科学基金

语种：

中文

开始日期：

2004-01-01

结束日期：

2007-12-31

中文摘要：

硅基微机电系统（MEMS）制造是以集成电路工艺为技术基础，通过引入三维加工技术，而在硅片上实现可动结构。目前集成电路工艺的每一步制造过程都可以在计算机上仿真，从而降低了集成电路制造成本、缩短了设计周期。硅基MEMS的三维加工技术主要包括表面加工技术、体加工技术（干法和湿法腐蚀）、键合技术（热键合、静电键合）。本项目重点研究这些加工制造过程中物理、化学、机械等相互作用的科学问题；建立相应的模型。项目研究意义