阻挡介质陷阱特性和混合气体彭宁效应对DBD等离子体均匀性的影响机制

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

51307133

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

常正实

完成单位：

西安交通大学

中文关键词：

大气压介质阻挡放电; 均匀放电; Penning效应; 表面陷阱特性; 放电模式转化;

其他语种关键词：

Atmospheric Pressure DBD; Uniform discharge; Penning effect; Surface trap; Discharge mode transitions

项目类型：

青年科学基金项目

语种：

中文

开始日期：

2014-01-01

结束日期：

2016-12-31

中文摘要：

近年来介质阻挡放电(DBD)等离子体技术正逐步应用于诸多领域，然而如何实现适合实际应用的大气压均匀DBD等离子体、如何界定大气压DBD等离子体的均匀性，仍然是目前国内外研究的难点和热点。本项目以平行平板电极结构的DBD为研究对象(阻挡介质：自制可加工陶瓷（或不同陷阱的材料）；气体氛围：纯Ar、Ar与少量NH3或C2H4混合气体)，采用表面微观分析、光电联合诊断等手段，实验研究阻挡介质的电荷陷阱特性和混合气体的彭宁效应对等离子体放电电压、粒子成分、粒子浓度及放电均匀性的影响；建立单一Ar及混合气体氛围中大气压DBD等离子体的物理模型，仿真研究在不同气体种类和气体比例时等离子体粒子浓度、电场强度、放电模式的动态演化过程；进而借助实验及仿真分析探讨均匀放电产生的机理。本项目旨在明确影响DBD等离子体均匀性的物理机制、提出产生均匀DBD等离子体的新方法，为DBD用于薄膜材料精细表面改性和生物细胞处理等提供技术支持。