等离子体行为特性对不锈钢氮化加后涂层复合处理的影响机理研究

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

51502126

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

郭媛媛

完成单位：

辽宁科技大学

中文关键词：

复合强化处理; 低温等离子体氮化; 非平衡磁控溅射; 等离子体行为特性; 奥氏体不锈钢;

项目类型：

青年科学基金项目

语种：

中文

开始日期：

2016-01-01

结束日期：

2018-12-31

中文摘要：

低温等离子体氮化和非平衡磁控溅射是两种应用非常广泛的表面强化技术，但目前两种技术单独使用已无法满足一些特殊工件，特别是在海洋环境中使用较多的不锈钢部件对高疲劳强度、低摩擦磨损以及高承载能力等性能的要求。本项目以奥氏体不锈钢为研究对象，采用等离子体增强磁控溅射系统对其表面进行“低温等离子体氮化+非平衡磁控溅射沉积氮化钛”一体化连续式复合处理，并结合等离子体诊断的研究方法，重点研究等离子体的行为特性（如密度、温度、电位和能量分布等）对表面复合氮化改性层的相结构、氮浓度及分布梯度，以及TiN成膜和生长的影响规律，揭示复合改性层的表面强化机理；明确中间处理工艺（如加热、离子溅射等）对复合改性层膜基结合力等表面性能的影响规律和机理。从而，为开发不锈钢表面复合处理工艺、改善不锈钢表面性能，以及实现基于等离子体诊断的工艺在线监控提供理论依据和实践指导。