面向规模集成的硅基高增益光波导放大器及激光器研究

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

61635001

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

王兴军

完成单位：

北京大学

中文关键词：

波导放大器; 光泵浦; 硅基光电子学; 激光器; 增益系数;

项目类型：

重点项目

语种：

中文

开始日期：

2017-01-01

结束日期：

2021-12-31

中文摘要：

基于申请团队在硅基掺铒发光材料优化、器件设计、工艺制备、器件耦合封装、芯片测试等方面拥有的长期工作积累，本项目将研制面向规模集成的硅基高增益光波导放大器和和激光器。计划开展两大方面研究：(1)化学气相沉积方法制备高增益铒镱/钇硅酸盐化合物纳米线光波导放大器和激光器：研究高增益、低损耗的铒镱/钇硅酸盐化合物纳米线的生长机理，研究微纳尺寸的谐振腔对近红外光的单模激光激射的影响，获得单模激光激射；(2)微电子工艺制备硅基高增益光波导放大器和激光器：借鉴优化的高增益纳米线材料的组分和结构，研究硅基高增益光波导放大器薄膜的制备方法，研究低损耗的光波导放大器结构；研究不同DFB和DBR光栅结构参数对激光器的线宽、波长、输出功率的影响；采用标准的微电子工艺制备面向规模集成的硅基高增益光波导放大器和激光器,实现10dB/cm的增益，mW以上激光出光功率。