蓝宝石LED衬底表面缺陷检测和综合评定方法研究

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

51605171

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

叶瑞芳

完成单位：

华侨大学

中文关键词：

衬底质量检测; 表面形貌测量; 数字图像处理; 特征识别; 评定方法;

项目类型：

青年科学基金项目

语种：

中文

开始日期：

2017-01-01

结束日期：

2019-12-31

中文摘要：

高精度的蓝宝石衬底表面质量，对在其表面生长GaN薄膜及LED发光二极管的性能至关重要。然而，现有商业仪器不能对具有多样化特征的各类缺陷进行特征定量表征，使得自动化生产线高效准确剔除次品难以实现。项目从表面缺陷测量方法、缺陷特征参数表征、缺陷特征识别及评定软件构建等四个方面开展研究工作，旨在实现对蓝宝石衬底表面几何参数准确测量和缺陷特征准确识别，达到缺陷精确定位和定量描述的效果。项目结合散射法和共焦显微测量方法，获取蓝宝石衬底表面缺陷测量数据；基于图像频谱分析技术、分形理论和小波方法对缺陷特征进行准确识别；采用Hu矩不变数和逆向神经网络算法对缺陷进行分类训练，重点展开对划痕、裂纹、气泡、坑点、崩角等缺陷的特征分类。基于缺陷特征定量表征，构建蓝宝石衬底缺陷定量评定专用软件系统。项目的研究将有助于弥补现有商业检测仪器不能全面给出缺陷特征定量个性化描述等不足，为蓝宝石衬底产业工艺优化提供依据。