基于拉曼-纳斯声光衍射的新型紫外准分子激光均束器件研究

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

60977029

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

周金运

完成单位：

广东工业大学

中文关键词：

准分子激光器; 均束器; 拉曼-纳斯衍射; 光波导管; 光刻;

其他语种关键词：

Excimer; Beam homogenizer; Raman-Nath diffraction; Light-guide wall; Lithography

项目类型：

面上项目

语种：

中文

开始日期：

2010-01-01

结束日期：

2012-12-31

中文摘要：

随着现代微技术手段对紫外准分子激光器的需求，由均束器来改善激光束的均匀性就成为迫切需要解决的关键问题。我们用拉曼-纳斯声光材料与波导管组合的方法，建立一种新型的均束器件。首次将声光衍射的原理运用于激光光束均匀化处理当中，研究该器件对激光束的多尖峰同时发生拉曼-纳斯衍射并且不同衍射级衍射光非相干叠加的均匀场理论，同时研究该器件均束时的各相关参量及其动态特性。由于目前的均束器只是合并了入射光的平均强度起伏，而对准分子激光器普遍存在的局域强度起伏（即尖峰）往往均束的效果不佳，利用声光衍射消除尖峰的影响，方法具有创新性；同时，利用多级衍射的多位组、不同衍射级的非相干叠加，避免干涉和衍射造成的强度调制，建立均匀衍射光场，有一定的理论创新性。波导管与声光衍射协同均束，均匀化程度加强，且易得到所需光斑的大小和形状，加之有源控制下的主动和灵活，使得这种均束器实用、简单和有效，因而研究有意义、应用有前景。