微机电系统若干关键机械学问题

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

50135040

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

温诗铸

完成单位：

清华大学

中文关键词：

微机电系统; 机械学;

项目类型：

重点项目

语种：

中文