基于变异流理论的多重入制造系统质量控制理论与方法研究

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

51275090

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

张志胜

完成单位：

东南大学

中文关键词：

多工序; 变异流; 单向分类模型; 半参数回归模型; 状态空间模型;

其他语种关键词：

multistation; stream of variation; one-way ANOVA model; semi-parametric regression model; state space model

项目类型：

面上项目

语种：

中文

开始日期：

2013-01-01

结束日期：

2016-12-31

中文摘要：

针对半导体制造过程的多重入特性导致的质量控制瓶颈问题，本课题将着重研究多重入制造系统的质量控制相关基础理论和应用技术。首先，应用多维相空间重构方法，研究多重入制造系统关键工序参数与质量特性的信息表示；其次，基于多工步变异流理论分析多重入制造系统质量变异的基本规律，建立多重入制造系统质量控制状态空间模型；接着，辨识多重入制造过程中的质量变异源，实现制造质量快速诊断与预测；最后，以半导体封装与晶圆制造过程的质量控制为具体案例对象，验证和完善理论模型与算法。项目预期将揭示多重入制造系统质量变异的传递规律，提出多重入制造系统质量控制及变异源过程监控方法，建立多重入制造系统质量控制的诊断与预测原型系统。项目的研究成果对于半导体制造过程的质量控制具有重要应用价值，也有助于提高多重入制造系统质量控制的理论研究水平。