基于二维有机无机纳米复合薄膜的OTFT阵列技术研究

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

61101031

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

太惠玲

完成单位：

电子科技大学

中文关键词：

有机薄膜场效应管; 气体传感器阵列; 复合薄膜; 异质结; 多参数;

其他语种关键词：

OTFT; gas sensor array; composite thin film; heterojunction; multi-parameter

项目类型：

青年科学基金项目

语种：

中文

开始日期：

2012-01-01

结束日期：

2014-12-31

中文摘要：

在经历了工业革命带来的"煤烟型污染"和"光化学烟雾型污染"后，现代人正进入以"室内空气污染"为标志的第三个污染时期。目前对室内环境空气污染物的各种检测方法存在着成本高、检测操作复杂及不适合实时监测应用等缺点。本项目基于MEMS技术，针对室内空气中甲醛等典型挥发性有机污染物的检测，研制一种基于二维有机/无机纳米复合薄膜的有机薄膜晶体管（OTFT）气体传感器集成阵列，根据OTFT传感器的多参数响应（源漏电流I、场迁移率μ和阈值电压VT等）与气敏特性相关的基本原理，构建OTFT传感器集成阵列的多参数多维矩阵响应模式；通过人工神经网络模式识别技术的研究，得到OTFT传感器特性参数与被测气体间的内在联系机制，从而提高OTFT单元器件的选择性和稳定性。这种将有机/无机纳米复合材料与MEMS技术相结合的结构设计与检测方法，具有灵敏度高、易集成、便于携带等特点，同时为室内空气污染检测技术提供了新的思路。