基于MOEMS集成扫描光栅微镜的微型近红外光谱仪

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

61327002

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

温志渝

完成单位：

重庆大学

中文关键词：

MOEMS扫描光栅微镜; 微型近红外光谱仪; 近红外光谱分析技术; MOEMS技术; 食品安全检测;

项目类型：

专项基金项目

语种：

中文

开始日期：

2014-01-01

结束日期：

2017-12-31

中文摘要：

近红外光谱分析技术以其无损、快速、高通量定性定量检测固态、液态和气态物质组分与含量的独特优势，已成为现场快速检测、流程工业在线过程分析与质量控制的重要手段。而低成本、高性能微型近红外光谱仪是制约近红外光谱分析技术发展与拓展应用的主要瓶颈之一。.在申请者长期研究微型光谱仪技术基础上，提出了一种将光栅、微镜和角传感器一体化单片集成的MOEMS 扫描光栅微镜新结构和基于扫描光栅微镜的微型近红外光谱仪，提出了基于扫描光栅微镜角传感器信号实现扫描光栅微镜高精度闭环控制和光谱信息准确探测的新思想与新方法。重点突破基于MOEMS 技术的扫描光栅微镜设计与制造关键技术，突破微型近红外光谱仪的集成设计、扫描光栅微镜精确控制与光谱准确采集策略、系统标定与误差补偿等关键技术。研制出达到国际先进水平的微型近红外光谱仪，实现在食品安全领域的应用验证，推动微型光谱仪整体技术发展，解决新一代微小型检测装备的共性瓶颈。