树状衍生多功能二、三维微纳图像综合测量系统

基金项目类型：

国家自然科学基金

基金项目编号：

50927502

来源网站：

国家自然科学基金委员会

来源网址：

http://www.nsfc.gov.cn/

负责人：

谢铁邦

完成单位：

华中科技大学

中文关键词：

超精密表面测量; 白光显微干涉; 原子力探针扫描; 金刚石触针测量; 显微图像测量;

其他语种关键词：

Ultra-precision surface topogr; White light interference micro; Atomic force probe scanning; diamond stylus measurement; microscopy image measurement

项目类型：

专项基金项目

语种：

中文

开始日期：

2010-01-01

结束日期：

2012-12-31

中文摘要：

拟研制一台多功能的显微图像测量仪，它具有如下功能：（1）可获取高倍大面积无痕拼接图像并测量；（2）可获取高倍大面积三维显微图形并测量；（3） 可获取纳米三维图形并测量；（4）振动测量。仪器的图像测量面积为50mm×50mm，X、Y最高分辨率为1nm，Z向最高分辨率为0.1nm。仪器最主要的创新点是：由一个测量显微镜基体派生出多种测量功能。它与在仪器上安装不同原理传感器而获取多功能的显微镜有本质上的不同。仪器可用于非接触测量也可用于接触测量；可进行工程表面的测量，也可进行纳米表面的测量，可进行单幅图像测量，也可进行大面积无痕拼接及测量，仪器可用于IT、MEMS、医学、生物工程、光学、超精加工，材料学等领域的基础研究，同时也可广泛用于工业生产。