用于观察样品表面的设备和方法
- 专利权人:
- 皇家飞利浦电子股份有限公司
- 发明人:
- S·瓦德曼
- 申请号：
- CN200780037110.3
- 公开号：
- CN101523195B
- 申请日:
- 2007.09.28
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要：
- 一种用于观察样品(1)的表面(2)的外观的设备，包括用于从预定方向照射所述表面(2)的光源(11)以及用于观察所述表面(2)的装置。用于观察所述表面(2)的装置包括相对于所述表面(2)位于不同方向的多个基本平坦的平面镜(8)。所述装置还包括用于观察所述平面镜(8)的光学系统(6，14)。每个平面镜(8)反射所述样品(1)的表面(2)的图像到所述光学系统(6，14)的图像接收部分(6)。该光源(11)的位置是可调整的，使得该样品(1)的表面(2)可以从不同预定位置被照射。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
