具有用于接收膜应力的槽的电容式压力传感器
- 专利权人:
- MKS 仪器公司
- 发明人:
- C·格鲁津
- 申请号：
- CN201180040710.1
- 公开号：
- CN103080717A
- 申请日:
- 2011.06.21
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 王琼
- 摘要：
- 一种传感器组件，其包括壳体组件；电极装置；以及膜片，所述膜片具有固定到所述壳体组件的固定部分和响应于施加到所述膜片相对两侧上的压差可相对于所述电极装置移动的活动部分。所述膜片的固定部分相对于所述壳体组件的至少一部分而固定于一个或多个位置处；以及至少一个槽在所述膜片相对于所述壳体组件固定的多个位置和活动部分之间形成于所述膜片的固定部分内，以便减小所述膜片的活动部分上的任何应力。还公开了所述传感器组件的构建方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
