一种电容式MEMS传感器阵列
- 专利权人:
- 北京先通康桥医药科技有限公司
- 发明人:
- 王洪超,宋军华,曹健,卢狄克,王晓琴,陈金
- 申请号：
- CN201710703888.9
- 公开号：
- CN107334461A
- 申请日:
- 2017.08.16
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种电容式MEMS传感器阵列，包括至少3个纵向排列乘以至少3个横向排列的电容式MEMS传感器，所述电容式MEMS传感器包括聚焦层、上电极、上电极引出线、上电极引出板、上电极数据复合引入板、震动薄膜、间隙空腔、支撑层、绝缘层、下电极、下电极引出线、下电极引出板、下电极数据复合引入板、阵列基底层、自动切换单元、成像信号整合单元，所述自动切换单元控制电容式MEMS传感器在触压功能状态与超声功能状态之间切换，控制电容式MEMS传感器采集触压信号或者超声信号，成像信号整合单元整合上述数据信号，输出立体的三维形态数据信号。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
