一种用于检测表面被手指印污染的半导体晶片的方法
- 专利权人:
- 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
- 发明人:
- 李建敏,中野研吾,杜嘉斌,宋建平
- 申请号：
- CN200910115742.8
- 公开号：
- CN101599447A
- 申请日:
- 2009.07.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2009
- 代理人:
- 杨志宇
- 摘要：
- 本发明涉及半导体领域或光伏领域的一种用于检测表面被手指印污染的半导体晶片的方法，特别是一种用于检测表面被手指印污染的半导体晶片的方法，其特征在于：采用蒸汽喷至半导体晶片表面，半导体晶片表面肉眼不可见的手指印即可用人工肉眼辨别出来，完成检测步骤。本发明成功实现了对半导体晶片表面上肉眼不可见的手指印的检测，且本发明的技术方案简单且易实施，成本低，非常有利于在生产中推广使用。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
