PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic probe capable of having improved acoustic performance since inter-layer peeling due to a cutting load in array division (in dicing) can be suppressed and deformation of an adherend side can be suppressed.SOLUTION: The ultrasonic probe includes: a piezoelectric vibrator 1 a first electrode layer 1a formed on one surface side of the piezoelectric vibrator one or two or more conductive acoustic matching layers 3 laminated on the first electrode layer with a first adhesion layer interposed a first film 4 laminated on the acoustic matching layer with a second adhesion layer interposed and having an electrode pattern formed on the side of the second adhesion layer a second electrode layer 1b formed on the other surface side of the piezoelectric vibrator a second film 6 laminated on the second electrode layer with a third adhesion layer interposed and having an electrode pattern formed on the side of the third adhesion layer and a back load material 7 laminated on the other surface side of the second film with a fourth adhesion layer interposed. Fibrous or flake-like fillers 10, 11 are blended with at least one of the first to fourth adhesion layers.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】アレイ分割時(ダイシング時)の切削負荷による層間剥離の発生を抑えることができるとともに、被着体側の変形を抑えることができるため、音響性能を向上させることができる超音波探触子を提供する。【解決手段】圧電振動子1と、圧電振動子の一方の面側に形成された第1電極層1aと、第1電極層に第1接着層を介して積層された1又は2以上の導電性の音響整合層3と、音響整合層上に第2接着層を介して積層され、第2接着層側に電極パターンが形成された第1のフィルム4と、圧電振動子の他方の面側に形成された第2電極層1bと、第2電極層に第3接着層を介して積層され、第3接着層側の面に電極パターンが形成された第2のフィルム6と、第2のフィルムの他方の面側に第4接着層を介して積層された背面負荷材7とを備え、第1乃至第4接着層のうち、少なくとも1つの接着層に繊維状又はフレーク状の充填剤10、11を配合させた。【選択図】図1b
