一种深紫外波段发光单片集成器件及制备方法
- 专利权人:
- 复旦大学
- 发明人:
- 田朋飞,顾而丹,崔旭高,单心怡
- 申请号：
- CN202110585698.8
- 公开号：
- CN113314561A
- 申请日:
- 2021.05.27
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2021
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种深紫外波段发光单片集成器件，包括基于AlGaN材料的UVC LED单元组成的LED阵列，每个LED单元的n电极和p电极之间具有多量子阱层；在LED阵列中，第一类LED单元用于发光，第二类LED单元用于探测光；在第一类LED单元发光时，第二类LED单元产生的光电流与第一类LED单元的发光强度相对应，所述光电流用以反馈控制LED阵列的光输出强度和UVC辐射剂量。本发明还提供了上述深紫外波段发光单片集成器件的制备方法。本发明能够实时监测UVC LED光输出强度的变化，使UVC LED能够安全稳定地应用于日盲通信、医疗、航空航天等领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
