用于射线摄影的栅格、射线图像检测器、射线成像系统以及用于制备栅格的方法
- 专利权人:
- 富士胶片株式会社
- 发明人:
- 金子泰久
- 申请号:
- CN201110443383.6
- 公开号:
- CN102590913A
- 申请日:
- 2011.12.27
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明提供用于射线摄影的栅格、射线图像检测器、射线成像系统以及用于制备栅格的方法。多线图案中的周期性电极形成于非线性单晶基板的第一表面上。将非线性单晶基板放在真空室中,并且用加热器加热。之后,将高电压施加至非线性单晶基板。从而,非线性单晶基板的自发极化方向在面向周期性电极的部分中反转,所述部分称作反转部分。在将非线性单晶基板结合至支持基板之后,仅将非线性单晶基板的未反转部分通过湿蚀刻移除,并且将带有高纵横比的沟留在保留下的反转部分之间。将该沟用X射线吸收材料如金填充。填充有金的沟组成栅格的X射线吸收部分,同时反转部分构成X射线透过部分。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心