Ein Verfahren zum Sterilisieren von Behältnissen (10), wobei die Behältnisse (10) entlang eines vorgegebenen Transportpfads durch einen Reinraum (20) transportiert werden, wobei dieser Reinraum (20) mittels wenigstens einer Wandung (22, 24) gegenüber einer Umgebung abgegrenzt wird und die Behältnisse (10) wenigstens abschnittsweise durch Beaufschlagung mit Ladungsträgern sterilisiert werden, wobei die Ladungsträger erzeugt werden und über ein Austrittsfenster (12) einer Sterilisationseinrichtung (1) auf die Behältnisse gelangen, wobei dieses Austrittsfenster (12) mittels eines Gasstroms gekühlt wird. Erfindungsgemäß wird dieser Gasstrom zum Kühlen der Austrittsfensters (12) dem Reinraum (20) entnommen.A method for sterilizing containers (10), the containers (10) being transported along a predetermined transport path through a clean room (20), this clean room (20) being delimited from an environment by at least one wall (22, 24) and the containers (10) are sterilized at least in sections by applying charge carriers, the charge carriers being generated and reaching the containers via an exit window (12) of a sterilization device (1), this exit window (12) being cooled by means of a gas flow. According to the invention, this gas stream is taken from the clean room (20) to cool the exit window (12).