一种Z型梁结构的微惯性开关
- 专利权人:
- 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 发明人:
- 张凤田,熊壮,王超,康鑫,唐彬
- 申请号：
- CN201621235027.X
- 公开号：
- CN206194639U
- 申请日:
- 2016.11.18
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 翟长明`韩志英
- 摘要：
- 本实用新型提供了一种Z型梁结构的微惯性开关，所述微惯性开关是采用了MEMS技术加工的低g值微惯性开关芯片，主要由玻璃盖板、质量块‑弹簧梁硅结构、玻璃基底等几部分组成，弹簧梁结构为对称的Z型梁。在工作时，当敏感方向有过载作用时，Z型梁发生弹性变形，质量块向玻璃基底凹槽内的接触凸点运动，当过载达到一定阈值的时候，质量块上的金属电极与基底凹槽内任意相邻的两个接触凸点发生接触，微惯性开关导通。本实用新型的Z型梁结构的微惯性开关具有抗横向过载能力强、可生产性好、可靠性高等优点，适用于汽车与工业生产安全控制和航空航天等领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
