PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique which allows for relatively flexible setting of the thickness of a vibrating membrane, even if the height of a cavity in a cell of a capacitance transducer is large, while increasing the degree of design freedom of the cell structure.SOLUTION: In a method for manufacturing a capacitance transducer having a cell of a structure including a first electrode 3, and a vibration membrane including a second electrode 6 provided while sandwiching the first electrode 3 and a cavity 5, a first sacrificial layer 12 is formed on the first electrode 3. A second sacrificial layer is formed at a part corresponding to a part of the cavity 5 on the first sacrificial layer 12, and an isolating layer 11 forming a part of the vibration membrane is formed on the second sacrificial layer. The second sacrificial layer is removed through an opening 8 formed in the isolating layer 11, and then the first sacrificial layer 12 is removed.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】たとえ静電容量型トランスデューサのセルのキャビティの高さが大きくても振動膜の厚さを比較的柔軟に設定でき、セル構造の設計の自由度を大きくすることができる技術を提供する。【解決手段】第一の電極3と、第一の電極3とキャビティ5を挟んで設けられた第二の電極6を含む振動膜と、を備える構造のセルを有する静電容量型トランスデューサの製造方法では、第一の電極3の上に第一の犠牲層12を形成する。第一の犠牲層12の上のキャビティ5の一部に対応する部位に第二の犠牲層を形成し、第二の犠牲層の上に、振動膜の一部をなす絶縁層11を形成する。絶縁層11に形成した開口8を介して第二の犠牲層をエッチングにより除去し、その後に第一の犠牲層12の一部を除去する。【選択図】図1
