大尺寸电磁驱动式MEMS微扫描镜有限元分析

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作   者：

彭旭蕊;  李庆党;  祝方舟; 

作者机构：

青岛科技大学机电工程学院; 

关键词：

垂直扫描;  微扫描镜;  电磁驱动;  水平扫描; 

期刊名称：

机械设计与制造工程

i s s n：

2095-509X

年卷期：

2021 年 006 期

页   码：

16-20

摘   要：

针对微扫描镜镜面尺寸过小、分辨率过低等问题,设计了一种镜面尺寸为4 mm的大尺寸电磁驱动式MEMS微扫描镜。使用COMSOL对设计的结构进行仿真模拟,分析MEMS微扫描镜在不同频率下的振动模态和扭转梁应力,并通过频响曲线分析其运动过程。结果表明,所设计的MEMS微扫描镜能够满足VGA显示模式的要求,水平扫描和垂直扫描的最大光学扫描角度分别为24.36°和59.30°。对比结果还表明,随着镜面尺寸的增加,水平扫描频率逐渐减小,屏幕分辨率逐渐降低,显示模式逐渐变差。