基于PLC的坩埚氦质谱检漏装置设计

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作   者：

陈易然;  杨大志;  范志恒;  杨宗泽; 

作者机构：

四川轻化工大学机械工程学院; 

关键词：

控制系统;  氦质谱检漏;  自动化;  坩埚; 

期刊名称：

自动化与仪表

i s s n：

1001-9944

年卷期：

2022 年 37 卷 004 期

页   码：

81-84,98

摘   要：

针对坩埚在进行检漏时,大多为水检法、皂泡法等人工检漏的方法,为解决效率低,时间久等问题,提出一种基于PLC坩埚氦质谱检漏装置平台.通过对检漏平台进行总体方案设计,确定工作流程,重点解决坩埚内部真空、上位机和氦质谱仪通讯、上位机和PLC通讯等问题.对系统硬件方面,进行了电气控制原理设计与选型、PLC型号选择、真空管道的设计、接线图设计;对控制系统软件方面,通过STEP 7-Microwin SMART,对作为主控器的PLC进行了控制程序的编写,再通过Visual Studio 2015进行人机交互界面的设计,以及通过与SQL2012数据库连接,将测得的数据放入数据库,最后通过上位机编译实现人机交互,实验平台开机运行调试.最终实验结果显示,整个平台实现了对坩埚的密封、检漏、检漏数据的存储,其中检漏同一坩埚10次检漏率值标准偏差S≤2.84,满足工业生产要求.