基于声表面波技术数字微流体微混合器研究

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作   者：

费景臣;  章安良; 

作者机构：

宁波大学信息学院; 

关键词：

数字微流体;  叉指换能器;  声表面波;  微混合器; 

期刊名称：

电子器件

基金项目：

i s s n：

1005-9490

年卷期：

2009 年 01 期

页   码：

218-221

摘   要：

报道了在128°旋转Y切割X传播方向LiNbO3基片上研制了数字微流体微混合器。它由压电基片上叉指换能器和反射栅组成,当由功率放大器放大后的射频电信号加到叉指换能器时,它激发的声表面波经微流体后转化为径向表面波驱动微流体,使其与同一路径上的另一微流体合并,在反射栅反射回的声表面波共同作用下,加速微流体内分子扩散运动,提高了微流体混合效率。采用1μL的水和1μL红墨水以及1μL的红墨水和1μL甘油各自进行混合实验,结果表明:在声表面波作用下,微混合器能快速混合微流体。为片上实验室提供了廉价、易集成的微混合单元,具有潜在的应用价值。