140GHz MEMS矩形波导滤波器

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作   者：

赵兴海;  单光存;  郑英彬;  杜亦佳;  陈颖慧;  鲍景富;  苏伟; 

作者机构：

香港城市大学物理与材料科学系;  电子科技大学;  中国工程物理研究院电子工程研究所; 

关键词：

太赫兹;  波导滤波器;  DRIE; 

期刊名称：

红外与毫米波学报

基金项目：

MEMS三维THz无源器件电气特性模型研究

i s s n：

1001-9014

年卷期：

2013 年 32 卷 02 期

页   码：

165-169

摘   要：

设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺,首次制造出了D波段MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB,中心频率(140±3)GHz,带外抑制为≥18 dB,样品主要技术指标与设计值符合.