MEMS器件平板运动空气阻尼研究
- 作者机构:
- 西安电子科技大学机电工程学院;
- 关键词:
- 傅里叶级数; 微加速度开关; 微机电系统; 空气阻尼;
- 期刊名称:
- 电子科技大学学报
- 基金项目:
-
微加速度开关机电动力学特性研究
- i s s n:
- 1001-0548
- 年卷期:
- 2007 年 05 期
- 页 码:
- 151-154
- 摘 要:
- 针对微电子机械系统中平行板间的气膜阻尼问题,通过将平板沿垂直方向的位移运动方程展开为傅里叶级数,得到了微平面机构所受的空气阻尼力和阻尼系数的解析公式。结果表明,空气阻尼系数近似与两平板间气隙厚度的三次方成反比。通过对微加速度开关质量块工作时所受的空气阻尼进行仿真分析,得出该开关的阻尼系数在工作过程中为变阻尼的结论,并分析了空气阻尼系数对于开关性能的影响。
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