激光诱导薄膜损伤的光偏转特性研究

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作   者：

杨利红;  韩锦涛;  苏俊宏; 

作者机构：

西安工业大学光电工程学院; 

关键词：

激光损伤;  光偏转;  SiO2薄膜;  损伤形貌; 

期刊名称：

西安工业大学学报

基金项目：

介质薄膜的高能激光诱导行为变迁特性研究

i s s n：

1673-9965

年卷期：

2014 年 10 期

页   码：

789-794

摘   要：

为了提高测定光学薄膜的损伤阈值的准确性.文中基于光偏转法识别薄膜损伤的模型,搭建了反射式光偏转实验测试系统,采用1-on-1法对SiO2薄膜进行了损伤测试.研究结果表明:像元尺寸为4μm×4μm,光斑接收屏到辐照点的距离为3 264.6mm,SiO2薄膜辐照点的最小斜率变化量为1.23×10-6.当泵浦光束能量密度小于等于SiO2薄膜的损伤阈值15J·cm-2时,探测光斑的光强分布发生变化;当泵浦光能量密度大于薄膜损伤阈值15J·cm-2时,探测光斑大小和样子发生改变.