电涡流传感器探头的结构优化

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作   者：

宋冠儒;  刘冲;  李经民;  赵王昱斐; 

作者机构：

大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 

关键词：

电感计算;  MEMS;  电涡流传感器;  阵列探头; 

期刊名称：

机电技术

i s s n：

1672-4801

年卷期：

2021 年 004 期

页   码：

61-64

摘   要：

探头是阵列式电涡流传感器的重要组成部分,探头单元的电参数直接影响传感器性能。文章通过建立探头单元简化的等效电路模型,探究了探头结构参数对电感、电阻、品质因数Q和自谐振频率等电参数的影响,并优化了探头的结构参数,为涡流阵列传感器探头单元的优化设计提供了一种更为快速的计算方法和实现途径。