声表面波滤波器理论研究进展

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作   者：

陈颖慧;  张慧;  郑英彬; 

作者机构：

中国工程物理研究院电子工程研究所; 

关键词：

Rayleigh波;  压电薄膜;  声表面波;  压电效应; 

期刊名称：

太赫兹科学与电子信息学报

i s s n：

2095-4980

年卷期：

2016 年 03 期

页   码：

467-473

摘   要：

为使声表面波(SAW)滤波器技术向更高的频段发展,对SAW滤波器的基础理论进行了分析:展示了压电材料压电效应(逆压电效应)的产生机理,并通过例子对比说明压电材料的晶体结构属性。介绍了重要的物理量机电耦合系数以及SAW传播的物理机理;重点推导了SAW在压电介质中的传播性质,并同非压电介质的传播特性进行了对比。得出SAW在压电介质中是非色散波,存在3个方向的质点位移分量;压电薄膜中SAW是色散波,且压电薄膜使得声表面波速度发生变化。