MEMS惯性传感器现状与发展趋势

• 全文链接
• 请求原文

作   者：

卞玉民;  胡英杰;  李博;  徐淑静;  杨拥军; 

作者机构：

中国电子科技集团公司第十三研究所;  河北美泰电子科技有限公司; 

关键词：

惯性;  趋势;  现状;  MEMS;  传感器; 

期刊名称：

计测技术

i s s n：

1674-5795

年卷期：

2019 年 39 卷 004 期

页   码：

50-56

摘   要：

自上世纪90年代以来,针对MEMS惯性器件的研究越来越多,MEMS惯性传感器开始得到广泛的商业应用.本文对部分MEMS惯性传感器国内外的新近研究成果进行了分类与归纳,分别对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪和微惯性测量组合以及惯性微系统进行了研究与分析.对MEMS惯性传感器发展趋势进行了初步推断,认为未来MEMS惯性传感器的发展主要有四个方向:高精度,以满足日益精细化、 智能化的应用需求;微型化,以实现便携、 分布式应用要求;高集成度,以完成多种功能高密度组合;适应性强,以适应复杂应用环境,拓宽应用范围.