Fe-Ni新型UBM薄膜的晶圆电镀工艺研究

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作   者：

张昊;  吴迪;  张黎;  段珍珍;  赖志明;  刘志权; 

作者机构：

中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室;  江阴长电先进封装有限公司; 

关键词：

Fe-Ni合金;  电镀;  晶圆级封装;  凸点下金属层(UBM); 

期刊名称：

金属学报

基金项目：

i s s n：

0412-1961

年卷期：

2012 年 10 期

页   码：

1273-1280

摘   要：

利用改良型硫酸盐-氯化物镀液体系,进行了晶圆级Fe-Ni凸点下金属层(UBM)电镀工艺的开发研究.研究了镀液中Fe~(2+)含量、电镀温度及电流密度对镀层成分的影响规律,得到了特定工艺条件下镀层成分控制的完整曲线;测量了不同电镀时间和不同电流密度下的镀层生长速率,为实际生产中控制UBM镀层的厚度提供了依据;利用XRD和TEM对镀层的晶体结构及微观形貌进行了表征;利用滴定、等离子体发射光谱(ICP)等手段,对镀液在生产及静置条件下主盐离子浓度的变化趋势进行了监测,测定了抗坏血酸在镀液体系中与Fe~(3+)的反应能力,提出了镀液的日常维护、保存、调控方案以及:Fe~(3+)的抑制方案.