特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调

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作   者：

武中华;  袁吕军;  朱永田;  何丽; 

作者机构：

中国科学院大学;  中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所;  中国科学院天文光学技术重点实验室; 

关键词：

零位补偿器;  补偿器装调;  离轴非球面;  镜筒结构设计;  光学检测; 

期刊名称：

应用光学

基金项目：

离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现检测方法

i s s n：

1002-2082

年卷期：

2017 年 04 期

页   码：

639-643

摘   要：

针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜,设计了3片式Offner补偿器。为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求,设计了相应的补偿器镜筒结构。该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离,实现补偿器的高精度装调。根据中心偏差测量仪的测量结果,2片补偿镜之间倾斜误差4.4″,平移误差3.5μm,镜间隔误差3.8μm;补偿镜组与场镜之间倾斜误差5.3″,平移误差4.2μm,镜间隔误差7.2μm,满足检测使用要求。利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测,面形结果PVq值达到0.135λ,RMS值达到0.019 5λ,优于设计要求。