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用于光具座自动测量焦距的变焦光学系统设计

作   者:
蔡锦浩杨朋利马爱秋冯婕付晓庆安静王芝李文婷
作者机构:
西安应用光学研究所
关键词:
自动测量光具座变焦光学设计
期刊名称:
应用光学
i s s n:
1002-2082
年卷期:
2016 年 03 期
页   码:
359-364
摘   要:
为了提高光具座自动测焦距时的测量精度,设计一套连续变焦光学系统。该系统包括自准直组件和变焦组件两部分,可以调节CCD靶面上接收到的图像大小,得到最佳测量结果。根据设计指标要求,在控制系统总长的基础上进行初始结构选择和像质优化。设计完成后的自准直组件焦距200mm,变焦组件焦距200mm~20mm,对接后的变焦系统可实现图像大小1×~10×连续调节。模拟实验表明:变焦系统像质良好,MTF曲线接近衍射极限,弥散斑小于CCD像元大小,可以满足实际检测需求。
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